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型號 |
02TM522(L) |
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調整維數 |
五維 |
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驅動方式 |
測微頭、微調螺紋副 |
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驅動位置 |
中心 |
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導軌 |
線性導軌+滾柱 |
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三維平移行程 |
13mm |
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旋轉和俯仰范圍 |
±5° |
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刻度 |
0.01mm |
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精度 |
0.001mm |
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直線度 |
0.003mm(單軸) |
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擺動誤差 |
<20″ |
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自重 |
2.1kg |
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負載 |
25kg |